Krytox™VPF 1525 润滑油科慕科慕、摩力克产品中心东莞市扬铃电子商贸有限公司

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摩力克

Krytox™VPF 1525 润滑油

所属分类：科慕
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尤其适用于半导体芯片加工过程中的蚀刻和沉淀过程特种气体处理。

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产品描述

产品特点
- 化学稳定性强：耐强酸、强碱，与氟气、SiH4 等特种气体，强腐蚀性物质、强氧化剂、还原剂等均不发生反应。
- 不燃烧性：不含氢元素，耐氧化，无闪点，无自燃点，可避免火灾隐患，满足半导体等行业对安全性的严格要求。
- 热稳定性优异：蒸发率和降解率极低，能避免残留物质形成，从而维持半导体工业中反应室的纯净度及高真空度。
- 润滑性能卓越：在较宽的操作温度范围、高负载、高压强情况下，均具有良好的润滑性能，能有效减少磨耗，对真空泵及压缩机等设备维持良好运行性能至关重要。
- 粘度和蒸汽指标稳定可靠：能够保持极低的回流率，从而持续保证系统的高真空度。
应用领域
- 真空泵和真空系统：适用于各种真空泵和真空系统，尤其适用于半导体工业真空泵，得到莱宝（Leybold）、爱德华（Edwards）、荏原（Ebara）等世界真空泵制造商的认可。
- 半导体芯片加工：尤其适用于半导体芯片加工过程中的蚀刻和沉淀过程特种气体处理。
- 其他特种气体行业：可用于其他特种气体行业真空系统泵浦中。

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